更新時間:2025-05-09來源:本站
半導(dǎo)體制程尾氣處理設(shè)備(Local Scrubber) 為處理各種有害性氣體,讓其在無塵室機臺端(POU)反應(yīng)被排放后,即由真空Pump抽至Local Scrubber做處理,避免在冗長的排氣過程中引發(fā)非預(yù)期的氣體泄漏,產(chǎn)生局部聚積或相互反應(yīng),待處理過后的氣體再接續(xù)至廠務(wù)端做第二道處理,以減少廠務(wù)端污染物處理上的負荷,達到對半導(dǎo)體業(yè)空氣污染管制及排放的標準。
查看更多