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  • 半導體設備

四大核心技術

打造泛半導體領域 “雙一流”（一流材料+一流服務）服務供應體系

  • 01
    靜電吸盤 Electrostatic Chuck，ESC

    靜電吸盤避免了傳統機械卡盤在使用過程中由于壓力、碰撞等機械原因對晶片造成不可修復的損傷，減少了顆粒污染，增大了晶片的有效加工面積，同時克服了真空吸盤不可以應用于低壓環境、無法通過背吹氣體對晶片溫度進行有效控制的缺陷，被廣泛應用于集成電路制造工藝。

  • 02
    碳化硅聚焦環 SiC Focus Ring

    等離子體刻蝕逐漸成為半導體制造工藝廣泛應用的技術，為確保刻蝕的一致性和準確性，需要使用聚焦環控制等離子鞘層厚度，進而優化離子轟擊方向，提高刻蝕精度。碳化硅除了與硅具有相似的電導率以外，還具有良好的耐離子刻蝕性能，相對于導電硅，它更適合用作聚焦環材料。

  • 03
    創新材料Innovative Materials

    隨著環保政策及貿易戰，主流氟化液將退出生產，3M在2022年12月20日宣布決定退出PFAS制造。 因此，國產電子氟化液國產化迫在眉睫。公司通過OEM共同合作開發，推出最威ZW序列氟化液產品， 且已經量產出貨供給半導體及半導體顯示頭部客戶。

  • 04
    設備及維護 EQ&Service

    溫控裝置（Chiller）、尾氣處理設備（Scrubber）被廣泛用于半導體，面板，太陽能、電池行業。云在上可提供多規格、多類型設備銷售和安裝、維護； 工業機器人（Robot）在工業自動化程度最高的半導體工廠被廣泛使用，云在上可對應市場90%以上機器人維護維修項目。

關于我們

打造泛半導體領域 “雙一流”（一流材料+一流服務）服務供應體系

云在上半導體
    二十年前，中國科技產業面臨“缺芯少屏”的困境，集團順應國家半導體顯示產業蓬勃發展的浪潮，于2008年成立于改革開放的前沿城市--深圳。
    自成立之初，公司一直定位于半導體顯示產業關鍵制程設備和材料的國產化。經過十余年的潛心研發已先后突破了LCD制程中的Turbo Molecular Pump（分子泵），Robot Arm（真空機械臂），Chiller(冷凍機)的研發和制造。
    2019年，公司切入半導體芯片行業的產業鏈，通過海外并購和自主研發并行的模式，迅速占領Fab領域高端客戶市場，與韓國頭部企業FST與KSTE得意于前期合作與共同開發，在美國制裁國內很多企業后，在國內以云在上為主體全面鋪開國產化替代，產品SIC、SI、石英全部導入頭部FAB，產品 品質得到認可，E-Chuck部分，維修與新品second source全面推進，國內工 廠也全面提速，圍繞客戶難點所需，共同開發，解決卡脖子難點。
查看詳細

  • 2022年

    公司成立

  • 100名

    技術服務人員

  • 50個

    工程案例

  • 15000m2

    研發與生產基地

新聞資訊

打造泛半導體領域 “雙一流”（一流材料+一流服務）服務供應體系

  • 云在上董事長 助力北科大人才培育 點亮半導體材料行業未來

    2025-05-12

    近日，一場意義非凡的盛會 —— 北京科技大學新材料技術研究院 2024 年度表彰大會暨校企合作獎學金簽約儀式，在教職工活動中心盛大開啟。這場活動吸引了學校領導、企業嘉賓、師生代表齊聚一堂，共同回顧過去一年的…

  • 云在上-半導體設備類廢氣處理機（Scrubber）介紹

    2025-05-09

    半導體制程尾氣處理設備(Local Scrubber) 為處理各種有害性氣體，讓其在無塵室機臺端(POU)反應被排放后，即由真空Pump抽至Local Scrubber做處理，避免在冗長的排氣過程中引發非預期的氣體泄漏，產生局部聚積或相互反…

  • 云跑十公里，健康在一起——云在上集團跑步團成立暨 10km 健康跑團建活動圓滿舉行

    2025-03-03

    在追求健康生活與團隊凝聚力的道路上，云在上集團邁出了充滿活力的一步。2025.3.1由集團董事長周述濤先生倡導的云在上集團跑步團正式成立，并成功舉辦了首次 10km 健康跑團建活動。

  • 云在上公司在半導體晶圓傳輸設備ROBOT上的業務布局

    2024-11-05

    一、新開拓業務-Robot維修與新品研發 云在上SIC與E-Chuck等產品因質量可靠性，多樣性以及服務滿意度，被廣大頭部FAB所接受，已批量導入并量產供應，2024年順應市場需求以及集團戰略布局，新開拓了Robot維修與新品研…

  • 把握機遇，迎難而上，再創輝煌！

    2024-10-25

    近期云在上高層組織集團內部研討會，針對當前公司經營狀況及市場變化和前景進行研討，會上集團董事長張桂華先生發表了“把握機遇，迎難而上，再創輝煌”的主題演講。

  • Semicon China 上海，云在上大放異彩！

    2024-03-31

    3月20日至22日，SEMICON China2024上海國際半導體展在上海新國際博覽中心舉行。伴隨著中國半導體產業的蓬勃發展，SEMICON China已經成為全球規模最大、最具影響力的半導體產業盛會。 ??云在上公司攜多款重磅產品…

  • 云在上邀您相聚上海2024 Semicon China

    2024-03-05

    云在上邀您相聚上海2024 Semicon China? 2024年3月20日~22日，全球最大規模半導體年度盛會——Semicon China 2024將在上海新國際博覽中心盛大舉行。

  • 云在上，打造國產材料“雙一流”

    2023-11-06

    是被信息時代的“石油”左右做“二流”，還是拿捏好它、抓住“芯”向“一流”？ 是依賴經驗指導，還是在信息過載與數據冗余之間找到平衡點，以數字驅動建構標準？ 9月13日，2023高質量發展…

  • 人民網：美國芯片公司無法忍受對中國銷售的更多限制

    2023-11-10

    盡管美國政客似乎決心繼續在高科技領域尋求與中國“脫鉤”的戰略，但美國科技巨頭的不斷裁員清楚地表明，為什么對華芯片出口限制對美國來說是不可持續的，而且是弄巧成拙的行業。

  • 半導體附屬設備真空泵為何要定期維保

    2023-11-10

    可以減少設備的連鎖損壞，延長設備壽命即當真空設備某個局部零件有故障時及時發現，減少設備故障造成的計劃外停機。

  • 被“卡”脖子的半導體零部件靜電卡盤，它是啥？

    2023-11-10

    在先進的大規模集成電路制造過程中有著幾百種工藝步驟，晶圓片需要在多達幾百種的工藝設備之間來回傳輸并進行加工檢測。在加工過程中，晶圓片必須被十分平穩、固定地安放在工藝設備上。

  • 論中國大陸半導體企業格局現狀

    2023-11-10

    《芯片戰爭》一書中寫道，“在人工智能時代，人們常說數據是新石油。但我們面臨的問題不是數據的可用性，而是處理能力……與石油不同，可以從許多國家購買，我們的計算能力的生產要復雜得多。”

  • 您知道金屬靶材的用途有哪些嗎？

    2023-11-10

    ?金屬靶材的應用主要包括平面顯示器、半導體、太陽能電池、記錄介質等領域。其中，平面顯示器占33.80%，半導體占11.40%，太陽能電池占18.50%，記錄介質占28.60%，下面就讓小編為大家分享一下關于金屬靶材的用途都有…

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